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MUMPs

多用户共享MEMS工艺

享誉全球的MUMPs是一种非常成熟的用于MEMS研发和小批量加工的商业模式。罕王微电子作为中国首条8寸MEMS规模化生产线，主要面向亚洲客户提供最便捷的技术服务和最快速的信息支持。

1992

MUMPs问世年份

80+

全球MUMPs工艺线

8英寸

中国首条规模化产线

三种完整MUMPs加工流程

01

PolyMUMPs

多晶硅表面微加工工艺，适用于电容式传感器、谐振器等MEMS器件的原型设计与小批量生产。

02

SOIMUMPs

SOI绝缘体上硅工艺，适用于高Q值谐振器、惯性传感器等需要高深宽比结构的MEMS器件。

03

MetalMUMPs

金属微加工工艺，适用于RF MEMS开关、电感、热执行器等金属基MEMS器件的开发。

为何选择MUMPs

低成本短周期

MUMPs工艺具有低成本、周期短、工艺标准化的优点。每个加工工序和工艺参数都是标准化、数据化、可追溯的，可极大减少设计优化流片的循环次数，降低研发固定开支。

最佳设计策略

商业客户和研发设计人员可根据标准流程的工艺参数和实际结果，以及MUMPs提供的设计优化策略指南，来进一步优化产品设计和工艺参数，实现与批量生产的完美衔接。

MUMPs-PLUS 附加服务

定制化工艺扩展

当客户需要在MUMPs标准化流程中增加特殊工艺流程或改变标准工艺参数时，可选择MUMPs-PLUS附加服务。相对于单独使用一整套定制化MEMS加工流程，依然非常划算。MUMPs提供共享硅片/多项目晶元（MPW）服务，在收到设计方案定稿的8-12周后，用户将收到15片成品芯片。

改变薄膜厚度更换材料 MPW多项目晶元

MUMPs技术培训

罕王微电子定期举办MUMPs技术和设计软件工具的培训，可直接联系我们索取最新的培训计划，欢迎通过官网订阅资讯邮件或关注微信公众号。

索取培训计划

开启您的MUMPs原型设计之旅

利用成熟的标准化工艺快速验证您的MEMS设计，从原型到量产无缝衔接。

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